日本随一の教育・実証用バイオリアクターで「持続可能型社会」に貢献
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)のプロジェクト「カーボンリサイクル実現を加速するバイオ由来製品生産技術の開発」において、二酸化炭素が光固定された植物由来原料からバイオ由来製品を生産する技術の開発・最適化を迅速化するための技術開発を行っています。標準化・試作支援・技術者育成の3つを柱にして取り組んでいます。
電子ビーム(EB)は原子サイズ程度にまで細く絞れるため、レーザービームより格段に微細な加工が可能で、最先端集積回路製造を含む様々なナノテクノロジーで使用されている。ところが、EB照射される試料が絶縁体の場合、電子電荷の蓄積等で試料が帯電することは避けられず、応用範囲が限られると懸念されてきた。我々はEB照射後の絶縁体表面の電位分布を測定する静電気力顕微鏡(EFM)を開発し、照射条件によって起こる帯電現象がどのような特徴を示しながら変化するかを詳細に調べた。その結果、大量のEB照射を行っても試料が帯電しない条件を発見した。
論文
「Non-charging Conditions of Insulating Film under Electron Beam Irradiation」(2020)『e-Journal of Surface Science and Nanotechnology』18p.106-109.
「Measurement of fogging electrons present in scanning electron microscope specimen chamber」(2020)『Japanese Journal of Applied Physics』59p.SIIB01-1 - SIIB01-8.
「Investigation of non-charging exposure conditions for insulating resist films in electron beam lithography」(-1)『Japanese Journal of Applied Physics』60p.SCCB02-1 - SCCB02-5.
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