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研究・メンバー紹介
INTRODUCTION

センサー/デバイス/材料・素材

デバイス開発
グループ

形状自在なフレキシブルセンサーデバイス
および微弱な信号から電力を得る
エナジーハーベスティングデバイスの開発

問い合わせ
  • 図1
    フレキシブル基板上TFT(左)と完全透明化されたガラス上TFT(右)。

  • 図2
    無線電波を微弱な電力に変換するエナジーハーベスティングデバイスの
    概要図。

研究内容

センサーデバイスやエナジーハーベスティングデバイスへ応用するために、化合物半導体を薄膜化し、フレキシブルな基板上への薄膜デバイスや薄膜トランジスタ(TFT)の形成と完全透明化を進めています(図1)。また、印刷技術を用いて表示デバイスを低コストに製造する手法の開発に取り組んでいます。さらに、新規のセンサー材料開発のために液相レーザープロセッシングの利用や、超微細加工技術であるナノインプリント法なども駆使して、高感度に環境や健康をモニタリングするためのセンサーデバイスの開発を目指しています。

応用例・展望

フレキシブルな基板上への回路応用については、例えば、食品のパッケージに賞味期限までの日数をカウントダウン方式で表示するような使い捨てできるセンサー付き電子タグの用途が考えられます。太陽光や照明光、機械の発する振動、電波などのエネルギーを採取して微弱な電力を得る技術であるエナジーハーベスティング技術においては、本研究の応用展開として、微弱な電波をインクジェットアンテナでとらえて整流素子で直流化する技術が実現できると考えられます(図2)。

デバイス開発(半導体)グループ

前元 利彦
工学部 電気電子システム工学科 教授

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