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大阪工業大学地域産業支援プラットフォーム OIT-P

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研究・メンバー紹介
INTRODUCTION

センサー/デバイス/材料・素材

デバイス開発
グループ

酸化物半導体や原子層薄膜を用いた
透明な高感度の電子デバイスの実現

問い合わせ
  • 図1
    グラフェンなどの原子層薄膜の積層と
    酸化物ナノ粒子の吸着

  • 図2
    2層グラフェンのトンネル
    電界効果トランジスタ

  • 図3
    Fe-ITOナノ粒子の透過型電子顕微鏡写真

研究内容

グラフェンは高い電子・正孔移動度を持ち,次世代トランジスタの材料の可能性も秘めています。単層グラフェンや2層グラフェンのトンネル電界効果トランジスタを作製し、その電気特性について研究を行っています。最近、様々な原子層薄膜を積層させたファンデルワールスヘテロ接合や、グラフェン表面に異種原子・分子を吸着させた系などに注目が集まっていますが、本研究でも、グラフェン以外にMoS2薄膜の作製や、グラフェン表面にIn2O3ナノ粒子を表面吸着させたトランジスタを作製しています。また、遷移金属元素のFeや希土類元素のDyを添加した酸化インジウムスズ(Fe-ITO,Dy-ITO)の薄膜を作製しています。これらをガラス基板上にスピンコートすることが可能で、プリンテッドエレクトロニクスを実現することができます。

応用例・展望

グラフェンなどの原子層薄膜は1層から数層の薄膜なので、材料の表面状態により電気特性が敏感に変化します。このことを利用して、ガスセンサーなどのデバイスへの展開が期待されます。グラフェンと異種材料の組み合わせにより、超伝導などの新しい機能を付加させることができます。また、様々な希土類元素をITOに添加する技術が確立できれば、LEDなどの発光デバイスへの応用も期待できます。

デバイス開発(半導体)グループ

藤元 章
工学部 一般教育科 准教授

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