新しい熱物性値測定法
未来の発電所となる核融合炉では，数十億度の超高温プラズマを閉じ込める構造材料として傾斜機能材料が，宇宙旅行を実現するためのロケットエンジンでは，数千度の燃焼ガスを噴射する構造材料として炭素繊維強化炭素複合材料が開発されています．どちらの材料も，【熱が加えられたとき，どのような応答をするのか？】を調べることが重要です．そこで，伝熱工学研究室では，そのような最先端の材料内を熱が伝わる速さとその測定法を研究しています．
分極デバイス応用を目指した酸化ガリウム薄膜の研究
ワイドバンドギャップ半導体としてパワーデバイスや深紫外線検出器への応用が期待される酸化ガリウム薄膜に注目しています。特に準安定相構造の一つである ε 相の酸化ガリウムは自発分極による分極デバイスへの応用が期待されます。準安定相の成膜に適した手法であるミストCVD法を用いた高品質な薄膜の成膜とそのデバイス応用を検討しています。
■研究シーズの特徴
- 準安定相構造の成膜に適したミストCVD装置を用いてε 相単相の酸化ガリウム薄膜を3C-SiCテンプレート基板上にヘテロエピタキシャル成膜することに成功しました。
- ε 相特有の分極を利用したデバイス（ヘテロ構造による２次元電子ガス形成，強誘電性薄膜）や深紫外線検出デバイスへの応用を目指します。
論文
「The thermal stability of epsilon-Ga2O3 thin films grown on (111) 3C-SiC template substrates」(2019)『IEEE Xplore, Compound Semiconductor Week (CSW)』
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