光学材料のレーザー損傷耐性の非破壊3次元イメージング技術
高レーザー損傷耐性で均質な光学材料の供給が産業用レーザーシステム、半導体露光装置等の性能、信頼性の向上に緊急で不可欠な課題となっている。本技術は、これまで開発してきた基本評価技術にさらに評価用レーザー光源の安定化を図ることで2光子吸収からレーザー損傷耐性を非破壊で高精度計測することを可能にしている。これにより各種光学材料のレーザー損傷耐性を非破壊で3次元イメージング可能な品質評価技術として確立している。
テラヘルツ領域電磁波(テラヘルツ波)は、光と電波の性質を兼ね備えており、さまざまな分野で役立つことから注目を集めています。半導体結晶表面に超短光パルスを照射すると、電子や原子の超高速過渡現象が励起され、テラヘルツ波が発生します。この応答は、構造がシンプルなテラヘルツ波光源として機能します。発生するテラヘルツ波の時間波形は、超高速過渡現象の挙動を反映します。本研究室では、超高速過渡現象を結晶表面の電場によって制御することで、テラヘルツ波発生特性を制御することを目指しています。
論文
「Characteristics of terahertz wave emissions under the coexistence of different sub-picosecond transient phenomena in GaAs epitaxial films」(2021)『Applied Physics Express』14p.041005.
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