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小山 政俊

分極デバイス応用を目指した酸化ガリウム薄膜の研究

ワイドバンドギャップ半導体としてパワーデバイスや深紫外線検出器への応用が期待される酸化ガリウム薄膜に注目しています。特に準安定相構造の一つである ε 相の酸化ガリウムは自発分極による分極デバイスへの応用が期待されます。準安定相の成膜に適した手法であるミストCVD法を用いた高品質な薄膜の成膜とそのデバイス応用を検討しています。

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藤元 章

二硫化モリブデン/グラフェンの電気特性とガスセンサー応用

〔概要〕酸化膜付きのSi基板上にMoを電子ビーム蒸着させ，Moを硫化させることにより二硫化モリブデン薄膜を作製した．この二硫化モリブデンのトランジスタ動作も確認した．グラフェンと二硫化モリブデンのファンデルワールスヘテロ接合を作製し，その抵抗変化による水素ガスと一酸化窒素ガスの検知特性を調べた．CVDグラフェン単体よりも，二硫化モリブデン/グラフェンのヘテロ接合の抵抗変化が大きいことを確認し，ガスセンサー応用を目指している．

藤井 彰彦

一軸掃引塗布プロセスによる太陽電池用ペロブスカイト薄膜の作製

近年太陽電池材料として有望視されている有機無機ハライドペロブスカイトの塗布製膜性に着目し、基板上に直接単結晶薄膜を作製する塗布プロセス技術を検討し、高い光電変換効率を示す太陽電池の開発を行っています。従来製膜法と比較すると、結晶粒径が100倍の100 μmの結晶が育成し、キャリア輸送に有利な結晶軸を面外方向に配向させることができ、太陽電池のエネルギー変換効率と安定性の改善に貢献しています。

和田 英男

極薄フレキシブルサーモクロミックフィルムの開発

　温暖化防止対策において、建築構造物に対する省エネが注目されています。特に、建築構造物の窓は熱損失が大きいため、日射遮熱性と日射取得性を高めることにより、冷暖房費負荷軽減に効果があります。二酸化バナジウム（VO₂）は、熱的に誘発された相転移により近赤外透過率を変化させ、太陽熱流束を自動的に調整できます。本プロジェクトでは、可視光透明性に優れた極薄フレキシブルサーモクロミックフィルムの実用化を目指しています。

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小池 一歩

絹フィブロインを用いた酵素膜の作製と拡張ゲートFET型バイオセンサーへの応用

本研究室が行っている研究課題の一つに「連続モニタリング可能な拡張ゲートFET型バイオセンサーの開発」があります。近年，低侵襲でバイオマーカを検査できるパッチ式バイオセンサーの開発に関心が高まっています。我々は，市販のMOSFETのゲート端子に酵素膜を形成した拡張電極を接続して，グルコース（糖），クレアチニン，尿素窒素を検出するための拡張ゲートFET（EGFET）型バイオセンサーの開発を行っています。本研究シーズは，絹フィブロインを用いた酵素膜の作製とEGFET型バイオセンサー回路の設計です。