二硫化モリブデン/グラフェンの電気特性とガスセンサー応用
〔概要〕酸化膜付きのSi基板上にMoを電子ビーム蒸着させ，Moを硫化させることにより二硫化モリブデン薄膜を作製した．この二硫化モリブデンのトランジスタ動作も確認した．グラフェンと二硫化モリブデンのファンデルワールスヘテロ接合を作製し，その抵抗変化による水素ガスと一酸化窒素ガスの検知特性を調べた．CVDグラフェン単体よりも，二硫化モリブデン/グラフェンのヘテロ接合の抵抗変化が大きいことを確認し，ガスセンサー応用を目指している．
分極デバイス応用を目指した酸化ガリウム薄膜の研究
ワイドバンドギャップ半導体としてパワーデバイスや深紫外線検出器への応用が期待される酸化ガリウム薄膜に注目しています。特に準安定相構造の一つである ε 相の酸化ガリウムは自発分極による分極デバイスへの応用が期待されます。準安定相の成膜に適した手法であるミストCVD法を用いた高品質な薄膜の成膜とそのデバイス応用を検討しています。
■研究シーズの特徴
- 準安定相構造の成膜に適したミストCVD装置を用いてε 相単相の酸化ガリウム薄膜を3C-SiCテンプレート基板上にヘテロエピタキシャル成膜することに成功しました。
- ε 相特有の分極を利用したデバイス（ヘテロ構造による２次元電子ガス形成，強誘電性薄膜）や深紫外線検出デバイスへの応用を目指します。
論文
「The thermal stability of epsilon-Ga2O3 thin films grown on (111) 3C-SiC template substrates」(2019)『IEEE Xplore, Compound Semiconductor Week (CSW)』
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